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沈阳科晶 PCE-6V 小型等离子清洗机
仪器概述:
PCE-6V 小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
主要技术特点:
1、采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
2、可短时间内彻底清洗掉有机污染物。
3、清洗程度可达到分子级。
4、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
6、样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。
7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
主要技术参数:
产品型号 | PCE-6V小型等离子清洗机 |
技术参数 | 1、电压:AC220V 10A 2、消耗功率:<500W(包括真空泵) 3、RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz 4、腔体:Ø190mm×98mm 5、石英管:Ø180mm×55mm,壁厚7mm 6、内腔:Ø165mm×55mm 7、清洗电极:Ø120mm 8、样品台:Ø150mm,有效尺寸Ø140mm 9、样品台与电极间距:15mm-50mm可调 10、抽气管:Ø12mm 11、极限真空度:0.1Pa 12、工作真空度:60Pa-500Pa 13、气路数量:2路(选装) 14、流量控制器数量:1、2 15、流量显示仪:2通道 16、气路接口:Ø6mm 17、加热样品台:Ø140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装) 18、冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa 19、工作环境:温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m |
产品规格 | 1、尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵) 2、重量:20kg(不含真空泵) |
可选配置 | 1、加热样品台 2、流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2个通道) |
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