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沈阳科晶 VTC-200P型 真空旋转涂膜机
仪器概述:
VTC-200P型 真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
主要技术参数:
产品型号 | VTC-200P 真空旋转涂膜机 | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有进出水口 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:不需要 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:需要 | ||
主要特点 | 1、设有12组程序,每组包含6个运行阶段。 2、真空吸附方式固定样件,操作简便。 3、真空度最大可以达到-0.08MPa。 4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。 5、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。 6、电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。 7、本机可置于手套箱内使用,但控制部分与真空泵需置于箱外。 | ||
技术参数 | 1、功率:350W 2、转速:500rpm-6000rpm 3、时间:1s-60s | ||
产品规格 | 尺寸:Ø250mm×290mm;重量:25kg | ||
标准配件 | 1 | 真空吸盘 | 1个 |
2 | O型胶圈 | 1个 | |
3 | 滴液器 | 1个 | |
4 | 滴液器支架 | 1个 | |
5 | 无油真空泵 | 1台 | |
可选配件 | 过滤器(真空泵用) |
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